Le service Micro et Nanotechnologies développe des procédés fabrication de micro et nano dispositifs pour des études en physique de la matière condensée. Il est composé de deux ingénieurs de recherches, un ingénieur d’études et une assistante ingénieure.
Les techniques de fabrication dites top/down qui sont mises en œuvre sont les dépôts de couches minces, les lithographies optique et électronique, et les gravures.
Le service gère la plateforme du laboratoire dédiée à ces technologie et labellisée par le CNRS.
Membres du service :
- Antoine Boury Ingénieur d’études
- Sylvie Gautier Assistante ingénieure
- ZhiZhong Li Ingénieur de recherche
- Raphaël Weil Ingénieur de recherche
